南昌中微半導體設備有限公司年產200臺MOCVD設備項目 職業病危害控制效果評價報告書 （報告編號：GCKP 2019-020） | |||||
建設單位名稱 | 南昌中微半導體設備有限公司 | 聯系人 | 于峰 | ||
地理位置 | 江西省南昌市南昌高新技術產業開發區天祥大道699號兆和光電科技園 | ||||
項目名稱 | 南昌中微半導體設備有限公司年產200臺MOCVD設備項目 | ||||
項目簡介 | MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)設備，即金屬有機物化學氣相沉積設備，是化合物半導體體外延材料研究和生產的關鍵設備，特別適合化合物半導體功能結構材料的規模化工業生產，是制備氮化鎵基發光二極管和激光器外延片的關鍵設備，同時也是制備砷化鎵、磷化銦等光電子材料和器件的主流設備，是其他半導體設備所無法替代的核心半導體設備，是當今世界上生產半導體光電器件和微波器件材料的主流設備，是當今信息產業發不可缺少的戰略性高技術半導體設備。 中微公司正在開發MOCVD是生產LED芯片最核心的設備，占生產線設備投資60%以上。LED芯片受電視背光源和半導體照明需求驅動，對MOCVD設備的需求持續攀升。中國是最大的MOCVD市場，約占全球市場的40%，但生產用MOCVD產品被德國Aixtron公司(德國愛思強)和美國Veeco公司(美國維易科)兩家廠商壟斷，生產MOCVD設備占據了全球90%以上的市場份額。 目前中微公司的MOCVD設備已在國內領先的生產線上進行大規模量產，它們是全球大部分LED芯片的生產制造商，包括三安光電和華燦光電。 | ||||
項目負責人 | 譚松 | 報告編制人 | 譚松、楊昇、彭少波、姚東陽 | ||
現場調查人員 | 楊昇、譚松 | 建設單位陪同人員 | 于峰 | 時間 | 2019.08.2 |
采樣人員 | 楊昇、譚松 | 時間 | 2019.08.12-2019.08.14 | ||
檢測人員 | 實驗室人員 | 時間 | 2019.08.12-2019.08.14 | ||
建設項目存在的職業病危害因素及檢測結果 | 通過工程分析、資料查詢并結合本項目各作業崗位職業病危害接觸程度、接觸方式、使用量及危害因素危害性等因素綜合分析，確定本項目存在的主要職業病危害因素為：工頻電場等職業病危害因素。 所檢測點項目的職業病危害因素強度均符合《工作場所有害因素職業接觸限值 第2部分：物理因素》(GBZ 2.2-2007)、《工業企業設計衛生標準》(GBZ1-2010)、《建筑照明設計標準》(GB50034-2013)的要求。 | ||||
評價結論 與建議 | 結論： 本項目生產過程中可能存在的主要職業病危害因素有工頻電場等職業病危害因素。 根據《國家安全監管總局關于公布建設項目職業病危害風險分類管理目錄（2012年版）的通知》（安監總安健〔2012〕73號）規定，確定本項目行業分類為專用設備制造(電子工業專用設備制造)，根據行業分類，為“職業病危害較重的建設項目”，但結合本項目僅涉及專用設備各部件的組裝和測試特性，不涉及設備及各部件生產的特點，且不使用化學用品及試劑，作業強度較低，產生的物理危害因素較低，故將職業危害項目種類進行降級，確定本項目為“職業病危害一般的建設項目”。 | 建議： （1）針對噪聲危害治理的建議 （2）針對職業衛生管理的建議 （3）持續改進性建議 （4）預防性告知
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專家組評審 意見 | 2019年08月28日，江南昌中微半導體設備有限公司在南昌市召開評審會議，會議邀請金莉、祝剛、陳紹壽3位位職業衛生專家組成評審組。專家組評審意見如下： （一）建設項目概況清晰； （二）《評價報告》對職業病防護設施設計執行情況分析、評價全面； （三）《評價報告》對職業病防護設施檢測和運行情況分析、評價清晰； （四）《評價報告》工作場所職業病危害因素檢測分析、評價正確； （五）《評價報告》對工作場所職業病危害因素日常監測情況分析、評價正確； （六）《評價報告》對職業病危害因素對勞動者健康危害程度分析、評價正確； （七）《評價報告》對職業病危害防治管理措施分析、評價合理； （八）《評價報告》對職業健康監護狀況分析、評價正確； （九）《評價報告》對職業病危害事故應急救援和控制措施分析、評價基本正確； （十）《評價報告》對正常生產后建設項目職業病防治效果預期分析、評價正確； （十一）《評價報告》提出的職業病危害防護補充措施及建議合理； （十二）評價結論正確。 （十三）《評價報告》修改建議： （1）完善生產工藝先進性說明； （2）細化潔凈生產區通風參數分析； （3）評審、驗收組提出的其他意見。 | ||||
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